Halbleiter können bis zu 100 GHz schalten; über 10 GHz sind sie jedoch sehr kostenintensiv. Verglichen mit den anderen Technologien sind sie sehr klein, sie weisen in ihren Frequenzen aber häufig Unstetigkeiten auf. Außerdem können modulare Verzerrungen auftreten, und sie benötigen einen zusätzlichen Stromkreis zur Kontrolle und zur Verbesserung ihrer Frequenzen.
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